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Purchase Benefits
What is included with this book?
Preface | xvii | ||||
Acknowledgments | xix | ||||
Materials Research Society Conference Proceedings | xxi | ||||
Keynote Presentation Shift to Copper and Low-k at SEMATECH | 3 | (16) | |||
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PART I: COPPER-BASED METALLIZATION TECHNOLOGIES | |||||
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19 | (10) | |||
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29 | (6) | |||
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PART II: CMP | |||||
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267 | (7) | |||
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274 | (7) | |||
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PART III: ADVANCED BARRIER TECHNOLOGIES | |||||
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281 | (8) | |||
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289 | (8) | |||
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297 | (8) | |||
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313 | (8) | |||
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345 | (6) | |||
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351 | (6) | |||
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357 | (6) | |||
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363 | (6) | |||
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375 | (6) | |||
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393 | (8) | |||
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PART IV: ADVANCED AI METALLIZATION | |||||
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401 | (8) | |||
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415 | (6) | |||
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433 | (6) | |||
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469 | (6) | |||
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475 | (10) | |||
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PART V: LOW-k DIELECTRICS | |||||
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485 | (6) | |||
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491 | (8) | |||
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517 | (6) | |||
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PART VI: SILICIDES AND ADVANCED DRAM METALLIZATION | |||||
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541 | (12) | |||
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553 | (6) | |||
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559 | (6) | |||
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565 | (6) | |||
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605 | (8) | |||
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637 | (8) | |||
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PART VII: INTEGRATION OF ADVANCED METALLIZATION MATERIALS | |||||
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645 | (8) | |||
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677 | (6) | |||
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691 | (8) | |||
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705 | (12) | |||
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717 | (8) | |||
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725 | (6) | |||
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Panel Discussion: Integrating Copper Metallization and low-k Dielectrics into State-of-the-Art Metallization Schemes | 773 | (4) | |||
Author Index | 777 | (6) | |||
Subject Index2 | 783 |
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